Spatial light modulator-based maskless laser lithography using Fourier filtering and focal shift

Ulm, Andreas (Corresponding author); Ahmed, Mirza Tareq; Schmitt, Robert H.

Bristol : IOP Publ. (2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D
Band: 56
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 035102