Signalverarbeitung zur Inline-Prozessüberwachung für koaxial integrierte Messtechnik in der Lasermikrostrukturierung

Berlin / De Gruyter (2017) [Journal Article]

Automatisierungstechnik : AT
Volume: 65
Issue: 6
Page(s): 416-425

Authors

Authors

Kunze, Rouwen
Bredol, Philipp
Schmitt, Robert H.

Identifier