Signalverarbeitung zur Inline-Prozessüberwachung für koaxial integrierte Messtechnik in der Lasermikrostrukturierung

Kunze, Rouwen (Corresponding author); Bredol, Philipp; Schmitt, Robert H.

Berlin / De Gruyter (2017) [Journal Article]

Automatisierungstechnik : AT
Volume: 65
Issue: 6
Page(s): 416-425

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