Dünne Schichten - starke Leistungen, TiN, Ti(C,N) oder (Ti,AI)N
König, W.; Kammermeier, D.
Leinfelden-Echterdingen : Konradin-Verl. Kohlhammer (1990)
Fachzeitschriftenartikel
In: Industrie-Anzeiger
Band: 112
Heft: 73
Seite(n)/Artikel-Nr.: 76-78
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-053452