Dünne Schichten - starke Leistungen, TiN, Ti(C,N) oder (Ti,AI)N

König, W.; Kammermeier, D.

Leinfelden-Echterdingen : Konradin-Verl. Kohlhammer (1990)
Fachzeitschriftenartikel

In: Industrie-Anzeiger
Band: 112
Heft: 73
Seite(n)/Artikel-Nr.: 76-78