Messschieber bis zum Koordinatenmessgerät - in der Fertigung wird alles benötigt.
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Prof. Dr.-Ing. Robert Schmitt
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Die Messtechnik spielt innerhalb der Mikrosystemtechnik eine wesentliche Rolle, weil ohne sie die Herstellung und Montage von Mikrosystemen im Großserienmaßstab nicht möglich ist. Sie dient sowohl der Prüfung und der Überwachung bestimmter Funktionalitäten von Mikrosystemen als auch der Qualitätskontrolle bei der Herstellung oder Montage hybrider Mikrosysteme. Im Gegensatz zur Makrowelt kann der Mensch die Vorgänge in den mikrosystemtechnischen Fertigungsprozessen auch nicht annähernd mit seinen Sinnesorganen wahrnehmen. Die Messtechnik ist der einzige Zugang und daher auch unentbehrliches Mittel zur Visualisierung. Um die verschiedenen Merkmale eines Mikrobauteils oder eines Mikrosystems im Rahmen einer Qualitätssicherung prüfen zu können, sind eine Vielzahl unterschiedlichster Mess- und Prüfverfahren anzuwenden. Konventionelle Messverfahren aus dem Makrobereich lassen sich in den meisten Fällen nicht unmittelbar in den Mikrobereich transferieren, weil die Übertragung bewährter makroskopischer Messprinzipien durch einfache Miniaturisierung nicht möglich ist. Daher gibt es eine Vielzahl von Neu- und Weiterentwicklungen auf dem Gebiet der Messtechnik für Mikrosysteme. Diese Vorlesung befasst sich mit Entwicklungsarbeiten auf diesem Gebiet, den Möglichkeiten und Problemen bei dem Transfer makroskopischer Messsysteme in die Mikrowelt und die hieraus entstehenden Herausforderungen nicht nur im Bereich der Messtechnik selbst, sondern auch in der Messauswertung, der Normung usw.. Schließlich gibt die Vorlesung einen Überblick über Verfahren, die bereits im Einsatz sind oder sich noch in der Entwicklung befinden. Im einzelnen werden folgende Themenstellungen behandelt: Grundbegriffe der Mess- und Prüftechnik, Sensoren, Optische Verfahren, Prüfdatenverarbeitung, Prüfdatenauswertung.
Informationen zur Vorlesung, Übung und Prüfung werden zentral in einem Elearningbereich (bzw. L2P) zur Verfügung gestellt: https://www.elearning.rwth-aachen.de/ |
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Turnus: SS, 1-semestrig |
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Weitere Informationen: |
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Ansprechpartner(in):
Dipl.-Ing. Dipl.-Wirt. Ing. Christoph Mersmann |
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