Vertiefungsrichtung Produktionstechnik für Mikrosysteme
| Pflichtbereich Produktionstechnik für Mikrosysteme | WS | SS |
| Herstellungsprozesse für Mikrosysteme I und II | 2/2 | 2/2 |
| Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen I und II | 2/2 | 2/2 |
| Mikrotechnisches Labor | 0/0/2 |
1. Technisches Wahlpflichtfach Mikrosystemtechnik
Dipl.-Ing. Rainer Klar
Tel: 0241 / 8904 - 282