Studieninfo

 

Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen I + II

Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen I + II

Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen I + II


 

 
Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen (2/2) SS

(Michaeli, Mokwa, Schmitt)

Im ersten Teil dieser Veranstaltung wird die Anlagentechnik für verschiedene Herstellungs-verfahren von Mikrostrukturen bzw. Mikrosystemen aus Kunststoffen behandelt. Hier werden z.B. eine Mikrospritzgießmaschine mit der entsprechenden Peripherie und eine Mikro-Laser-schweiß-anlage vorgestellt. In der Übung zu dieser Veranstaltung sollen z.B. in Teamarbeit ein Spritzgießwerkzeug konzipiert und erste Anwendungen von Kunststoff-Mikrostrukturen vorgestellt werden.

Im zweiten Teil wird der Bereich der Silizium-Mikrotechnik behandelt. Anhand von Geräten, die bei der Fertigung von mikromechanischen Komponenten zum Einsatz kommen, werden die besonderen Anforderungen erläutert, die an diese Anlagen zu stellen sind und die sie von herkömmlichen Anlagen unterscheiden.

Anschließend gibt Prof. Schmitt eine Übersicht über verschiedene Verfahren zur Prozessüberwachung bei der Herstellung von Mikrosystemen. Anhand einiger ausgewählter Verfahren werden die Funktionsweise und die Einsatzmöglichkeiten erläutert. Eine detaillierte Betrachtung dieser Thematik erfolgt in der Vorlesung Messtechnik für Mikrosysteme.


Turnus: SS, 1-semestrig

 
 
 
 
Konstruktion und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen (2/2) WS
(ehemals Maschinen und Geräte zur Herstellung von Mikrosystemen II)

(Brecher, Poprawe, Schomburg)

Der Teil von Prof. Poprawe ist als Fortführung der Ver-anstaltung „Herstellungspro-zesse für Mikrosysteme I“ gedacht. Für die Auslegung von Prozessketten werden die unterschiedlichen Lasersysteme für Verfahren in der Mikrotechnik beschrieben, wie z.B.

· Excimer-Laser


· Ionenlaser
· Dioden-Laser
· Nd:YAG-Laser
· sowie die hierfür notwendigen optischen Systeme und Bearbeitungsanlagen

Prof. Brecher befasst sich mit den Grundlagen von Werkzeugmaschinen und deren Einsatz zur Herstellung von mikrotechnischen Bauteilen oder mikrostrukturierten Oberflächen. Die zugehörigen Fertigungsverfahren sind beispielsweise das Drehen, das Fräsen oder das Erodieren. Die inhaltlichen Schwerpunkte betreffen die konstruktive Gestaltung von Werk-zeug-maschinen: Gestelle, Lager und Führungen, Wegmeß-systeme, Steuerungen sowie statisches, dynamisches und thermisches Maschinen-verhalten.

Im dritten Teil dieser Veranstal-tung behandelt Prof. Schomburg Grundlagen der Kon-struktion von mikrotechnischen Komponenten und Systemen. Zunächst werden die Skalierungsgesetzte betrachtet, aus denen sich ableiten lässt, warum Mikrokom-po-nenten anders konstruiert wer-den müssen als makrosko-pische Bauteile und welche Besonder-heiten sich für die Mikrotechnik er-ge-ben. Andere Möglichkeiten und Ein-schrän-kungen gelten auch für Antriebe und Sensor-prin-zipien, die anschließend vor-ge-stellt werden. Zum Abschluss werden verschiedene realisierte Komponenten wie z.B. Mikro-pum-pen, Mikroventile, Sensoren für Drehraten, Druck und Fluss vorgestellt und im Hinblick auf ihre konstruktiven Eigenarten mit-einander verglichen.


Turnus: WS, 1-semestrig

 
 
 
 
 
 
Maschine für die spanende Mikrobearbeitung

     

Weitere Informationen:

Ansprechpartner(in):

Dipl.-Ing. Kilian Klages (ILT)
Tel.: 0241 / 8906 - 490